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氣相沉積薄膜與基體附著力的劃痕試驗儀的特點

發(fā)布時間： 2024-08-06　　點擊次數(shù)： 118次

氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷，即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結(jié)構(gòu)原理如圖1所示。該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續(xù)加載電機； B—聲發(fā)射探頭，探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機； C—洛氏硬度計標(biāo)準(zhǔn)壓頭； D—試樣臺； E—位移電機，用以勻速沿水平方向拖動試樣臺； F—切向摩擦力傳感器，連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器； I—光學(xué)顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控制器； L—微型計算機（嵌入式工業(yè)電腦），用以實施測試自控和自動處理數(shù)據(jù)，并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機，輸出試驗結(jié)果； P—壓頭加載機構(gòu)； Q—主支架。